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离子束蚀刻机通用规范

国标建议

标准号

GB/T 15861-2012

发布时间

2012年11月05日

标准名称

离子束蚀刻机通用规范

归口单位

工业和信息化部（电子）

资源链接

国家标准委

英文名：General specification of ion beam etching system

标准类别：产品

中国分类号：L97

执行单位：工业和信息化部（电子）

主管部门：工业和信息化部（电子）

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